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千級(jí)無塵無菌車間等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的*級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于*級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。

百級(jí)無塵車間的標(biāo)準(zhǔn)100級(jí)無塵無菌車間*般需要滿布，具體需要找凈化工程師計(jì)算相關(guān)風(fēng)量; 但是不能盲目按照換氣次數(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)風(fēng)量

無塵車間日常保養(yǎng)方式潔凈無塵車間的清掃*般須在生產(chǎn)工藝結(jié)束后進(jìn)行，如有*要在生產(chǎn)前清掃，則工藝生產(chǎn)*須在凈化空調(diào)系統(tǒng)開機(jī)運(yùn)行時(shí)間達(dá)到潔凈要求后方可開始進(jìn)行。為防止交叉污染，清掃潔凈廠房設(shè)施均應(yīng)按產(chǎn)品特點(diǎn)、工序要求、潔凈度等級(jí)不同分別*用。