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高效過濾器一般是指對粒徑大于等于0.3um粒子的捕集效率在99.97％ 以上的過濾器

潔凈室（俗稱凈化間）是空氣懸浮粒子濃度受控的房間，它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒子，室內其他有關參數(shù)溫度、濕度、壓力等按照要求進行控制。潔凈室以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分潔凈程度。